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Mikrosystemtechnik - Hilleringmann, Ulrich
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Hilleringmann, Ulrich:

Mikrosystemtechnik - neues Buch

ISBN: 9783835100039

ID: 60601119

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Diejeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Buch > Mathematik, Naturwissenschaft & Technik > Technik > Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik, Vieweg+Teubner

Neues Buch Buecher.de
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Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
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Ulrich Hilleringmann:

Mikrosystemtechnik - neues Buch

2006, ISBN: 9783835100039

ID: 690802816

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Bücher > Sachbücher > Naturwissenschaften & Technik > Ingenieurwissenschaft & Technik > Elektro- & Nachrichtentechnik Taschenbuch 25.04.2006, Teubner B.G. GmbH, .200

Neues Buch Buch.ch
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Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
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Mikrosystemtechnik - neues Buch

ISBN: 9783835100039

ID: 116261629

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Buch (dtsch.) Bücher>Sachbücher>Naturwissenschaften & Technik>Ingenieurwissenschaft & Technik>Elektro- & Nachrichtentechnik, Teubner B.G. GmbH

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Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
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Mikrosystemtechnik - Taschenbuch

2006, ISBN: 9783835100039

ID: 7192785

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen, 2006, Softcover, Buch, [PU: Vieweg & Teubner]

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Mikrosystemtechnik - Hilleringmann, Ulrich
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Mikrosystemtechnik - neues Buch

ISBN: 9783835100039

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Details zum Buch
Mikrosystemtechnik
Autor:

Hilleringmann, Ulrich

Titel:

Mikrosystemtechnik

ISBN-Nummer:

9783835100039

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Detailangaben zum Buch - Mikrosystemtechnik


EAN (ISBN-13): 9783835100039
ISBN (ISBN-10): 3835100033
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2006
Herausgeber: Teubner B.G. GmbH
271 Seiten
Gewicht: 0,369 kg
Sprache: ger/Deutsch

Buch in der Datenbank seit 27.05.2007 19:50:34
Buch zuletzt gefunden am 04.10.2016 22:20:15
ISBN/EAN: 9783835100039

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8351-0003-3, 978-3-8351-0003-9

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