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Lorenzzi, Jean:

Boron nitride thin films - deposited by magnetron sputtering on Si3N4 - Taschenbuch

2010, ISBN: 9783639076356

[ED: Taschenbuch / Paperback], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot… Mehr…

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Boron nitride thin films - Taschenbuch

2010, ISBN: 9783639076356

[ED: Softcover], [PU: VDM Verlag Dr. Müller], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C a… Mehr…

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Boron nitride thin films - Taschenbuch

2010

ISBN: 3639076354

[EAN: 9783639076356], Neubuch, [PU: VDM Verlag Jul 2010], Neuware - In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering … Mehr…

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Boron nitride thin films - Taschenbuch

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Paperback, [PU: VDM Verlag], In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets o… Mehr…

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2010, ISBN: 9783639076356

VDM Verlag Dr. Müller, Taschenbuch, 96 Seiten, Publiziert: 2010-08-10T00:00:01Z, Produktgruppe: Buch, 0.34 kg, Maschinenbau, Ingenieurwissenschaften, Fachbücher, Kategorien, Bücher, Ingen… Mehr…

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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches

Details zum Buch
Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

3639076354


In this work we present the results of the thin films of boron nitride deposited by D.C. and R.F. magnetron sputtering from hot-pressed B4C and h-BN targets on two different substrates: Si3N4 ceramics with different surface finishing and Si(100) wafers. The influence of parameters such as substrate temperature and working gas composition ratio (N2 or Ar), on film thickness, deposition rate, cristallinity, residual stress, phase composition and hardness, were systematically investigated using techniques like SEM, XRD, FT-IR and nanohardness.

Detailangaben zum Buch - Boron nitride thin films: deposited by magnetron sputtering on Si3N4


EAN (ISBN-13): 9783639076356
ISBN (ISBN-10): 3639076354
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2010
Herausgeber: VDM Verlag Dr. Müller

Buch in der Datenbank seit 2007-12-22T15:17:24+01:00 (Zurich)
Detailseite zuletzt geändert am 2022-11-13T03:47:29+01:00 (Zurich)
ISBN/EAN: 3639076354

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-639-07635-4, 978-3-639-07635-6
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Titel des Buches: boron, magnetron, thin films, seeing through films, nitride, sputtering

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