Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf… Mehr…
Die Entwicklung von Analysenverfahren zur Untersuchung ausgewählter reaktiver Prozessgase (Chlor, Chlorwasserstoff, Bortrichlorid und Dichlorsilan) ohne Probenvorbereitung im Hinblick auf ihren Einsatz in der Halbleiterfertigung und den damit verknüpften Anforderungen an die Nachweisstärke der Verfahren bildet den Schwerpunkt des vorliegenden Buches. Verschiedene atomspektrometrische Methoden wie die Graphitrohratomabsorptionsspektrometrie (GFAAS), Mikrowelleninduziertes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (MIP-AES), Nichtdispersive Atomfluoreszenzspektrometrie (NAFS) und Induktiv gekoppeltes Plasma-Atomemissionsspektrometrie (ICP-AES) wurden für die Ausarbeitung der Verfahren eingesetzt sowie deren Möglichkeiten und Grenzen aufgezeigt. Aufgrund der physikalisch-chemischen Eigenschaften der Gase und ihrer Reaktivität ist die Auswahl der Materialien des Gaseinführungs- und Analysensystems von entscheidender Bedeutung für eine richtige Analyse. Sowohl technische Modifikationen als auch Kalibrierungsmöglichkeiten werden präsentiert. Bücher > Sachbücher > Naturwissenschaften & Technik > Chemie 22.0 cm x 15.0 cm x 0.9 cm mm , VDM, Taschenbuch, VDM<
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*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / A… Mehr…
*Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen* - Entwicklungen Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren in der Prozessgasanalytik / Taschenbuch für 59 € / Aus dem Bereich: Bücher, Wissenschaft, Technik Medien > Bücher nein Buch (kartoniert) Hardcover;Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik;Chemie, VDM Verlag Dr. Müller<
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Detailangaben zum Buch - Die Bestimmung von Spurenelementen in reaktiven Prozessgasen
EAN (ISBN-13): 9783639034356 ISBN (ISBN-10): 363903435X Gebundene Ausgabe Taschenbuch Erscheinungsjahr: 2008 Herausgeber: VDM Verlag Dr. Müller 144 Seiten Gewicht: 0,231 kg Sprache: ger/Deutsch
Buch in der Datenbank seit 2009-01-31T08:57:19+01:00 (Zurich) Detailseite zuletzt geändert am 2023-09-17T15:13:08+02:00 (Zurich) ISBN/EAN: 9783639034356
ISBN - alternative Schreibweisen: 3-639-03435-X, 978-3-639-03435-6 Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe: Titel des Buches: verfahren, spurenelemente, die bestimmung