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Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
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Ulrich Hilleringmann:

Mikrosystemtechnik - neues Buch

ISBN: 9783835100039

ID: 699b7a088d5da14a21e1f09da953c0ba

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Bücher / Sachbücher / Naturwissenschaften & Technik / Ingenieurwissenschaft & Technik / Elektro- & Nachrichtentechnik 978-3-8351-0003-9, Teubner B.G. GmbH

Neues Buch Buch.de
Nr. 10275693 Versandkosten:Bücher und alle Bestellungen die ein Buch enthalten sind versandkostenfrei, sonstige Bestellungen innerhalb Deutschland EUR 3,-, ab EUR 20,- kostenlos, Bürobedarf EUR 4,50, kostenlos ab EUR 45,-, Sofort lieferbar, DE. (EUR 0.00)
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Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
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Ulrich Hilleringmann:

Mikrosystemtechnik - neues Buch

ISBN: 9783835100039

ID: 116261629

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet. Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Buch (dtsch.) Bücher>Sachbücher>Naturwissenschaften & Technik>Ingenieurwissenschaft & Technik>Elektro- & Nachrichtentechnik, Teubner B.G. GmbH

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Mikrosystemtechnik - Prozessschritte, Technologien, Anwendungen - Hilleringmann, Ulrich
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Hilleringmann, Ulrich:
Mikrosystemtechnik - Prozessschritte, Technologien, Anwendungen - Taschenbuch

2006

ISBN: 9783835100039

[ED: Taschenbuch], [PU: Vieweg & Teubner], [SC: 0.00], Neuware, gewerbliches Angebot, 210x148 mm, [GW: 381g], 2006

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Mikrosystemtechnik - Ulrich Hilleringmann
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Ulrich Hilleringmann:
Mikrosystemtechnik - Taschenbuch

2006, ISBN: 9783835100039

ID: 7192785

Prozessschritte, Technologien, Anwendungen, 2006, Softcover, Buch, [PU: Vieweg & Teubner]

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Mikrosystemtechnik - Hilleringmann, Ulrich
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Mikrosystemtechnik - neues Buch

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Details zum Buch
Mikrosystemtechnik
Autor:

Hilleringmann, Ulrich

Titel:

Mikrosystemtechnik

ISBN-Nummer:

9783835100039

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

Detailangaben zum Buch - Mikrosystemtechnik


EAN (ISBN-13): 9783835100039
ISBN (ISBN-10): 3835100033
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2006
Herausgeber: Teubner B.G. GmbH
271 Seiten
Gewicht: 0,369 kg
Sprache: ger/Deutsch

Buch in der Datenbank seit 27.05.2007 19:50:34
Buch zuletzt gefunden am 18.01.2017 20:04:27
ISBN/EAN: 9783835100039

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8351-0003-3, 978-3-8351-0003-9

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