2006, ISBN: 3835100033
[EAN: 9783835100039], Neubuch, [PU: Vieweg & Teubner Verlag Apr 2006], MIKROSYSTEMTECHNIK; BERECHNUNG; BRANCHENINDEXONLINE; ELEKTRONIK; FACHINFORMATIKER; INGENIEURSTUDIUM; MIKROSYSTEM(MEM… Mehr…
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ISBN: 9783835100039
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2025, ISBN: 9783835100039
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2025
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Bibliographische Daten des bestpassenden Buches
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Detailangaben zum Buch - Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Ulrich Hilleringmann Author
EAN (ISBN-13): 9783835100039
ISBN (ISBN-10): 3835100033
Gebundene Ausgabe
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2006
Herausgeber: Vieweg+Teubner Verlag Core >1
271 Seiten
Gewicht: 0,369 kg
Sprache: ger/Deutsch
Buch in der Datenbank seit 2007-05-27T19:50:34+02:00 (Zurich)
Detailseite zuletzt geändert am 2024-04-19T02:28:19+02:00 (Zurich)
ISBN/EAN: 9783835100039
ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8351-0003-3, 978-3-8351-0003-9
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: hiller, hilleringmann, ulrich hill, vieweg teubner verlag, ulrich bez
Titel des Buches: mikrosystem, mikrosystemtechnik prozessschritte technologien anwendungen tabellen
Daten vom Verlag:
Autor/in: Ulrich Hilleringmann
Titel: Mikrosystemtechnik - Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Verlag: Vieweg+Teubner Verlag; Vieweg & Teubner
274 Seiten
Erscheinungsjahr: 2006-04-25
Wiesbaden; DE
Sprache: Deutsch
37,99 € (DE)
39,05 € (AT)
42,00 CHF (CH)
Available
X, 274 S.
BC; Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik; Elektrotechnik; Verstehen; Ingenieurwissenschaften; Berechnung; BranchenIndex Online; Elektronik; Fachinformatiker; Ingenieurstudium; Mikrosystem (MEMS); Mikrosystemtechnik; Privatdozent; Prüfungsvorbereitung; Sensor; Siemens; System; Systeme; Systemtechnik; VDE; Electrical and Electronic Engineering; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Applied and Technical Physics; Elektronik; Angewandte Physik; EA
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der Mikrosystemtechnik
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