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Organic Peracid Etches - Daniel Georg Possner
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Organic Peracid Etches - neues Buch

2015, ISBN: 9783838118536

Delineation of crystalline defects in silicon substrates and thin films by chemical etching in combination with light optical microscopy is a well established method for quality control. … Mehr…

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Organic Peracid Etches: Novel chromium-free etching solutions for the delineation of crystalline defects in thin silicon films - Taschenbuch

ISBN: 3838118537

Taschenbuch, [EAN: 9783838118536], Suedwestdeutscher Verlag fuer Hochschulschriften, Suedwestdeutscher Verlag fuer Hochschulschriften, Book, [PU: Suedwestdeutscher Verlag fuer Hochschulsc… Mehr…

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Organic Peracid Etches - Taschenbuch

2015

ISBN: 9783838118536

Delineation of crystalline defects in silicon substrates and thin films by chemical etching in combination with light optical microscopy is a well established method for quality control. … Mehr…

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Organic Peracid Etches Novel chromium-free etching solutions for the delineation of crystalline defects in thin silicon films - neues Buch

2015, ISBN: 3838118537

Kartoniert / Broschiert, mit Schutzumschlag neu, [PU:Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften AG Co. KG]

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Details zum Buch
Organic Peracid Etches: Novel chromium-free etching solutions for the delineation of crystalline defects in thin silicon films
Autor:
Titel:
ISBN-Nummer:

9783838118536


Delineation of crystalline defects in silicon substrates and thin films by chemical etching in combination with light optical microscopy is a well established method for quality control. It is still the workhorse for a quick and simple evaluation of defect types and area densities. Most of the etching solutions used today have two disadvantages. They contain hexavalent chromium which is highly toxic and they are not suitable for application on thin silicon films. A new class of chromium free etching solutions containing organic peracids was developed. These solutions are able to reveal different crystalline defects like oxidation induced stacking faults (OSF), dislocations and vacancy agglomerates (D-defects)in SOI and sSOI.

Detailangaben zum Buch - Organic Peracid Etches: Novel chromium-free etching solutions for the delineation of crystalline defects in thin silicon films


EAN (ISBN-13): 9783838118536
ISBN (ISBN-10): 3838118537
Taschenbuch
Erscheinungsjahr: 2010
Herausgeber: AV Akademikerverlag GmbH & Co. KG.

Buch in der Datenbank seit 2011-02-28T16:46:39+01:00 (Zurich)
Detailseite zuletzt geändert am 2021-09-17T15:05:18+02:00 (Zurich)
ISBN/EAN: 9783838118536

ISBN - alternative Schreibweisen:
3-8381-1853-7, 978-3-8381-1853-6
Alternative Schreibweisen und verwandte Suchbegriffe:
Autor des Buches: georg daniels, georg may, daniel furrer
Titel des Buches: silicon organic, pera, the etching

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